《纳米标准球校准方法》.pdfVIP

ICS17.040.01

CCSA52

团体标准

T/XXXXXXX—XXXX

纳米标准球校准规范

Calibrationmethodfornanometerstandardsphere

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

浙江省计量与标准化学会发布

T/XXXXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由××××提出。

本文件由浙江省计量与标准化学会归口。

本文件起草单位：

本文件主要起草人：

I

T/XXXXXXX—XXXX

纳米标准球校准规范

1范围

本文件文件规定了纳米标准球校准的术语和定义、计量特性、校准条件、校准项目与校准方法、校

准结果表达及复校时间间隔。

本文件适用于标称直径为（0.5～10）mm纳米标准球的校准。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T1958-2017产品几何技术规范（GPS）几何公差检测与验证

GB/T2831-2009光学零件的面形偏差

GB/T4249-2018产品几何技术规范（GPS）基础概念、原则和规则

GB/T7234-2004产品几何量技术规范（GPS）圆度测量术语、定义及参数

GB/T33523.2-2017产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法第2部分：术语、定义及表面结

构参数

GB/T38762.1-2020产品几何技术规范（GPS）尺寸公差第1部分：线性尺寸

3术语和定义

GB/T1958-2017、GB/T2831-2009、GB/T4249-2018、GB/T7234-2004、GB/T33523.2-2017和GB/T

38762.1-2020界定的术语和定义适用于本文件。

纳米标准球nanometerstandardsphere

纳米标准球以单晶硅或金刚石等高硬度、低热膨胀系数材料制成，用于复现或传递球形几何量量值

的标准球。

注：纳米标准球的圆度误差不大于50nm，按圆度误差分为1级（不大于30nm）和2级（不大于50nm）。

标准球三维表面粗糙度3Dsurfaceroughnessofstandardsphere

在标准球表面区域内，各点相对于最小二乘参考球面的高度偏差绝对值的算术平均值，用参数S表

a

示。

标准球单一直径singlediameterofstandardsphere

在通过标准球球心的任意方向上，两