原创力文档TOC\o1-3\h\z\u24484SiCMOSFET器件结构设计与沟槽栅工艺优化 2
15812第一章引言 2
159751.1背景介绍 2
68251.2研究目的和意义 3
76361.3国内外研究现状及发展趋势 4
29997第二章SiCMOSFET器件基础知识 6
47432.1SiCMOSFET器件概述 6
159912.2SiCMOSFET器件结构特点 7
92442.3SiCMOSFET器件工作原理 9
5760第三章器件结构设计 10
302833.1器件结构设计的原则
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