集成电路制造相关术语.pdfVIP

1.acceptancetesting(WAT:waferacceptancetesting)

3.ACCESS:一个EDA(EngineeringDataAnalysis)系统

6.Alignmark(key):对位标记

9.Ammnia氨

10.Ammniumfluride氟化核

11.Ammniumhydrxide«化筱

12.Amrphussilicn:a-Si,非晶硅(不是多晶硅)

13.Analg:模拟的

14.Angstrm

15.Anistrpic:各向异性(如POLYETCH

16.AQL(AcceptanceQualityLevel):受质量标准，在一定采样下，可以95%置

信度通过质量标准(不同于可靠性，可靠性要求一定时间后的失效率)

17.ARC(Antireflectivecating):抗反射层(用