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2026年硅片生长过程中热场流场多物理场耦合数值模拟应用.docx

2026年硅片生长过程中热场流场多物理场耦合数值模拟应用.docx

    TOC\o1-3\h\z\u26649硅片生长过程中热场流场多物理场耦合数值模拟应用 2

    31350一、引言 2

    30672研究背景及意义 2

    2786国内外研究现状 3

    30455本文研究目的与内容 4

    11979二、硅片生长基础知识 5

    3914硅片生长原理简介 5

    8520热场在硅片生长中的作用 7

    11917流场对硅片生长的影响 8

    25591三、多物理场耦合数值模拟理论 9

    30525物理场耦合概述 9

    330数值模拟方法介绍 11

    15407热场与流场耦合模型建立 12

    21070四、数值模

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