靶基距、溅射角及退火对AZO薄膜光电性能的多维度影响研究.docxVIP

靶基距、溅射角及退火对AZO薄膜光电性能的多维度影响研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光电器件领域，透明导电薄膜扮演着不可或缺的角色，其中铝掺杂氧化锌（AZO）薄膜作为一种极具潜力的新型半导体光电材料，备受关注。它不仅拥有高电导率，能够高效传导电流，还在可见光范围展现出高透过率，让光线顺利通过，并且储量丰富、价格低廉，在氢等离子体中具备良好的稳定性，这些优势使其成为替代传统氧化铟锡（ITO）薄膜的首选材料，在众多光电器件中有着广泛应用。

在太阳能电池中，AZO薄膜作为透明导电电极，其光电性能直接关乎电池对太阳光的吸收以及光电转换效率。高透过率可使更多光子抵达吸收层，高电导率则能