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直接感光法制备BST薄膜图形及其性能的深度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微电子制造技术作为现代信息技术的核心，正以前所未有的速度不断演进。随着集成电路技术的持续进步，芯片的集成度不断提高，器件尺寸不断缩小，这对各类功能薄膜材料的制备技术提出了越来越高的要求。其中，BST（BaSrTiO?）薄膜作为一种具有独特物理性质的功能材料，在存储器件、微波器件、传感器等众多领域展现出了巨大的应用潜力，受到了广泛的关注和深入的研究。

BST薄膜是一种钙钛矿结构的复合氧化物，具有高介电常数、低介电损耗、良好的铁电性能和热释电性能等一系列优异的特性。这些特性使得BST薄