CN114128140B 一种体声波谐振装置的形成方法 (常州承芯半导体有限公司).docxVIP

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  • 2026-03-16 发布于山西
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CN114128140B 一种体声波谐振装置的形成方法 (常州承芯半导体有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114128140B

(45)授权公告日2025.06.10

(21)申请号201980098512.7

(22)申请日2019.09.05

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114128140A

(43)申请公布日2022.03.01

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.01.21

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/CN2019/1046002019.09.05

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2021/042343ZH2021.03.11

(73)专利权人常州承芯

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