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- 2026-03-16 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN118899278B
(45)授权公告日2025.01.14
(21)申请号202411364828.5H01L21/48(2006.01)
(22)申请日2024.09
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