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1第5章电容式传感器工作原理、分类及应用主要特性参数典型测量电路电容式传感器的结构设计、温度影响及抗干扰措施

2§5·1工作原理、分类及应用一、基本工作原理ε：介质介电常数s：极板面积δ：极板间距离εδs

3思考:主要优、缺点：电容传感器能测哪些物理量?优点：1）分辨率高；2）动态特性好；3）对被测构件影响小；4）体积小；易于实现非接触测试；5）检测头结构简单；环境适应性较强，可以在恶劣环境下（高温、辐射、振动）工作。缺点：1）量程小；2）输出阻抗高；3）易受分布电容影响。

4二、分类1、变间隙电容传感器两极板相互覆盖面积及极间介质不变，当两极板在被测参数作用下产生相对位移，引起电容值变化。变间隙式一般用于微小位移的测量（小至：0.01微米）。A、按工作原理分类

52、变面积电容传感器常用的有角位移型和线位移型两种。与变间隙型相比，适用于较大角位移及直线位移的测量。一般情况下，变截面积型电容式传感器常做成圆柱形。

63、变介电常数电容传感器这种传感器大多用于测量电介质的厚度(图a)、位移(图b)、液位(图c)。可根据极板间介质的介电常数随温度、湿度、密度、容量改变而改变来测量温度、湿度、容量(图d)等。

7B、按结构分类平板式单体式差动式圆柱、圆筒式单体式差动式

8abL(ba)其他结构：存在屏蔽时同一平面上两电极之间的电容两根导线之间的电容

9三、应用1-部分或整体绝缘的棍电极；3、4-拉紧或放松的绳电极：如果容器壁由导电材料制成，则只需装入电极1、3或4，容器壁作为另一电极与外壳相连（接地）。如果容器壁由非金属材料制成，需一个电极5配对，或用有内外电极的管式电极2。测量原理:电容器的上部为空气，下部为液体。液位变化时，电容器的电容变化值ΔC与被测材料的液位高度x成线性关系。1、液位测量测液位、测物位测微位移测压力、力、加速度等配对电极双电极

10液位监控:不需要探头的电容值在整个高度范围内线性变化，而是希望液位在达到极限位置时开关量输出发生变化。l和2是棍电极或绳电极，3是侧面安装的棍电极，倾斜安装可提高测试灵敏度，4是平面电极，可用于一些不能在内部插入电容探头的容器内的液位测量，如搅拌器。

112、电容式料位传感器电容式料位变送器探头与容器壁形成一个电容器。电容极板（探头与容器壁）的表面积、两极板之间的距离及被测物料的介电常数决定电容量的大小。当探头固定安装于容器端面后，被测物料的介电常数不变时，电容值仅取决于被测物料的高度，并与物位成正比。

12分段电容式物位计可以确定物料到达的位置，属于非连续测量。

133、非接触电容式位移传感器非接触电容位移传感器可测量导体和绝缘体的位置和移动参数，称为接近觉传感器。对于导体：主电极为发射电极，被测物体为接受电极，次电极为保护环（驱动电极），与主电极同电位；采用屏蔽环结构，可以避免边缘电场，改善传感器的特性。

14对于绝缘体：调制参数为等效介电常数。主电极为发射电极，外侧的防护环为接受电极；次电极为保护环（驱动电极），与发射电极同电位；电力线必须跨过驱动电极才能到达接受电极，因而扩大了测量范围。使用场合要求干净，任何油污、尘埃、水等介质进入传感器间隙中，都将影响测量结果。发射电极驱动电极接收电极

15弯曲、波动变形移动、位移位置、膨胀振动、偏心位置、膨胀冲击、变形轴向窜动阀门位移活塞移动厚度、轮廓偏心（同轴度）压缩机叶片间隙、转速电容位移传感器的应用实例

16电容式接近开关结构：测量头通常是构成电容器的一个极板，而另一个极板是物体本身。与电容式位移传感器的不同之处：输出开关量。

17原理：变等效介电常数特点：非接触式测量应用：纸张、绝缘薄膜等电容式非金属材料厚度测量

18其他应用

19其他应用

20特点高分辨率：变间隙电容传感器在小量程范围内有很高的分辨率和灵敏度。输入能量小：变间隙型电容压力传感器只需很小的能量就能改变电容极板的位置。电参量相对变化大：信噪比高，工作稳定。动态特性好：活动零件少、质量小、固有频率高。结构简单，环境适应性好：可以在振动、辐射环境下工作，采用冷却措施还可以在高温环境下工作。缺点：高输出阻抗和分布电容使其易受干扰。变间隙型量程小，线性差。

21§5.2主要特性

一、特性曲线、灵敏度、非线性1、变间隙式：εδs定极板动极板ε：极板间介质介电常数ε0：真空介电常数εr：极板间介质相对介电常数δ：极板间距离S：极板面积

22灵敏度K与极板间距平方成反比，极距愈小，灵敏度愈高。电容C与极板间距δ呈非线性关系。初始极板间距过小容易引起电容器击穿或短路----解决方法：采用耐高压的材料作介质（如云母、塑料膜等）。适合于微位移的测量。灵敏度分析：进一步分析：

23非线性分析