原创力文档《半导体洁净室水溶性空气分子污染物（AMC）的测定离子色谱法》
编制说明（预审稿）
一、工作简况
1.1立项目的和意义
目前，随着相关部门对产品纯度的要求日益提升，人民对工作和生活环境健
康的关注度日益增强，无论是电子芯片制造、药品生产及食品生产，还是公众日
常的家庭生活，空气分子污染均是不可忽视的污染类型，空气分子污染物（AMC）
即环境中有能力沉降于表面上形成单分子层(Monolayer)薄膜的气态化学污染物
质，有机污染会引起生产工具中不利的影响，同时增加集成半导体器件、磁盘驱
动、液
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