全球市场研究报告
TGV基板,又称玻璃通孔(TGV)基板,是一种具有垂直电气互连的玻璃基板。其核心特点有三:玻璃基板、
通孔技术、金属化。
晶圆级TGV基板采用优质硼硅玻璃或石英玻璃作为基材,通过激光诱导、刻蚀等工艺在玻璃晶圆上形成直
径通常为10-100μm的微通孔。然后,通过种子层溅射、电镀填充、化学机械平坦化和重分布层(RDL)制
作等工艺,在通孔内填充金属,实现三维互连。晶圆级TGV基板广泛应用于三维集成电路封装、MEMS(微
机电系统)、生物医疗、通信、传感器等领域。例如可应用于环形谐振器、波导缝隙天线、毫米波天线等
5G/6G高频芯片,以及MEMS陀螺仪、加速度计等新型3D封装需求。
根据QYResearch最新调研报告显示,预计2031年全球晶圆级TGV基板市场规模将达到4.75亿美元,未
来几年年复合增长率CAGR为20.24%。
图.晶圆级TGV基板,全球市场总体规模
GlobalMarketSize($Mn)
202020252031
来源:QYResearchTGV基板研究中心
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