CN119020854B 一种装载腔室、外延生长设备以及托盘取放方法 （浙江求是半导体设备有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN119020854B(45)授权公告日2025.01.17

(21)申请号202411513835.7

(22)申请日2024.10.28

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN119020854A

(43)申请公布日2024.11.26

(73)专利权人浙江求是半导体设备有限公司地址311100浙江省杭州市临平区临平街

道顺达路500号1幢102室

专利权人浙江科盛智能装备有限公司浙江晶盛机电股份有限公司

(72)发明人曹建伟龚碧瑶傅林坚朱亮刘毅谢文翟硕

(51)Int.CI.

C30B

C30B

C30B

C23C

C23C

25/08(2006.01)

25/12(2006.01)

25/16(2006.01)16/458(2006.01)

16/52(2006.01)

(56)对比文件

CN114743922A,2022.07.12CN113113340A,2021.07.13审查员汪宇琪

(74)专利代理机构杭州钤韬知识产权代理事务

所(普通合伙)33329专利代理师金丹丹

权利要求书2页说明书13页附图7页