CN118874935B 一种半导体挡板退膜清洗装置及其清洗方法 （合肥升滕半导体技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN118874935B(45)授权公告日2025.01.14

(21)申请号202411388063.9

(22)申请日2024.10.08

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN118874935A

(43)申请公布日2024.11.01

(73)专利权人合肥升滕半导体技术有限公司地址230011安徽省合肥市新站区新蚌埠

路与谷河路交口佳海工业城G区33号

(72)发明人王永东王庆全付怀友卢永秀

(74)专利代理机构深圳科润知识产权代理事务所(普通合伙)44724

专利代理师周晓菊

(51)Int.CI.

B08B3/08(2006.01)

B08B1/20(2024.01)

B08B1/12(2024.01)

B08B9/087(2006.01)

F26B5/08(2006.01)

(56)对比文件

CN218854950U,2023.04.14审查员余昭艳

权利要求书3页说明书8页附图9页

(54)发明名称

一种半导体挡板退膜清洗装置及其清洗方

法

(57)摘要

CN118874935B本发明公开了一种半导体挡板退膜清洗装置及其清洗方法，属于半导体器件加工技术领