CN104064478A 一种铜氮化铝陶瓷复合导热基板的制作方法 （南京航空航天大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104064478A

(43)申请公布日2014.09.24

(21)申请号201410284022.5

(22)申请日2014.06.24

(71)申请人南京航空航天大学

地址210016江苏省南京市秦淮区御道街

29号

(72)发明人傅仁利张鹏飞涂兴龙方军蒋维娜

(74)专利代理机构江苏圣典律师事务所32237代理人贺翔

(51)Int.CI.

HO1L21/48(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

一种铜/氮化铝陶瓷复合导热基板的制作方法

本发明公开一种铜/氮化铝陶瓷复合导热基板的制作方法，包括以下步骤：(1)在氮化铝基板表面打出贯穿孔；(2)在氮化铝基板双面涂敷铜系电子浆料层；(3)向贯穿孔填充预氧化铜柱；

CN104064478A(4)整体烧结30min;(5)双面涂敷锡银铜钎料后进行钎焊；(6)表面抛光；(7)直接进行镀铜处理，形成均匀的铜层，即获得铜/氮化铝陶瓷复合导热基板；以本发明方法制造出的铜/氮化铝陶瓷复合导热基板贯穿孔上下导通，孔内金属化层与陶瓷基板的结合强，中间铜柱可实现上下表面铜

CN1040644