《碳化硅长晶用多孔石墨材料》.pdfVIP

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  • 2026-03-18 发布于河南
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ICS29.045(ICS国际标准分类号)

H80/84(中国标准文献分类)

团体标准

T/IAWBS×××-×××

代替T/IAWBS(替代号)

碳化硅长晶用多孔石墨材料

Porousgraphitematerialforsiliconcarbide

crystalgrowth

征求意见稿

(本稿完成日期:2026年1月20日)

××××-××-××发布××××-××-××实施

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟发布

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