CN113795908B 用于修改光刻胶轮廓和调整临界尺寸的方法 （应用材料公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN113795908B

(45)授权公告日2025.06.20

(21)申请号202080033975.8

(22)申请日2020.02.21

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113795908A

(43)申请公布日2021.12.14

(30)优先权数据

62/830,7592019.04.08US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2021.11.05

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2020/0191512020.02.21

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2020