CN104016297A 一种3dof硅基纳米级定位平台及其制作方法 （上海工程技术大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN104016297A

(43)申请公布日2014.09.03

(21)申请号201410276938.6

(22)申请日2014.06.20

(71)申请人上海工程技术大学

地址201620上海市松江区龙腾路333号

(72)发明人宋芳

(74)专利代理机构上海科盛知识产权代理有限公司31225

代理人赵继明

(51)Int.CI.

B81B7/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图6页

(54)发明名称

一种3-DOF硅基纳米级定位平台及其制作方法

(57)摘要

CN104016297A本发明涉及一种3-DOF硅基纳米级定位平台及其制作方法，所述定位平台包括单晶硅衬底，该衬底的同一表面上设置有四个静电梳齿致动器和一个正方形定位台，其中，四个静电梳齿致动器以正方形定位台为中心呈对称分布，各静电梳齿致动器通过其输出端的柔性弯曲梁与正方形定位台相连接，静电梳齿致动器前后两侧分别对应连接有柔性折叠梁和位移检测梁，静电梳齿致动器、正方形定位台、柔性折叠梁和位移检测梁通过绝缘锚点与单晶硅衬底连接，悬浮在单晶硅衬