CN114521227B 激光干涉测量系统及方法 （诺信公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114521227B

(45)授权公告日2025.05.23

(21)申请号202080066254.7

(22)申请日2020.09.18

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114521227A

(43)申请公布日2022.05.20

(30)优先权数据

62/903,3102019.09.20US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.03.21

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2020/0514402020.09.18

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2021