CN114342053B 周期性半导体装置偏移计量学系统及方法 （科磊股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114342053B

(45)授权公告日2025.05.16

(21)申请号201980100031.5

(22)申请日2019.09.16

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114342053A

(43)申请公布日2022.04.12

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.03.04

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2019/0512092019.09.16

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2021/054928EN2021.03.25

(73)专利权人科磊股份