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- 2026-03-19 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN118219072B
(45)授权公告日2025.01.17
(21)申请号202410324712.2H01L21/607(2006.01)
H01L21/67(2006.01)
(22)申请日2024.03.21
B24B37/10(2012.01)
(65)同一申请的已公布的文献号
B24B37/34(2012.01)
申请公布号CN118219072A
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