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无尘车间设计方案

第一章项目定位与需求溯源

1.1业主背景

A公司新建6英寸SiC功率器件量产线，2025年Q3投产，月产2万片。产品对颗粒≥0.1μm的敏感度为30颗/晶圆，任何超标即报废；对AMC（气态分子污染物）中SO?、NH?、H?S要求＜1ppb。

1.2法规与认证

必须同时满足GB504722019《电子工业洁净厂房设计规范》、ISO146441:20157级动态（核心区5级静态）、SEMIS2/S8安全、NFPA318消防、当地应急局《危险化学品管理条例》及《职业病防治法》。

1.3需求拆解

颗粒控制：0.1μm，3520颗/m3（ISO5静态）；气流组织：单向流占比≥80%，核心区0.35m/s±0.05；温湿：22℃±0.3℃，RH40%±3%；压差：洁净区对外15Pa，相邻不同级10Pa；噪声≤55dB(A)；照度500lx以上，均匀度0.7；静电＜100V；系统冗余：N+1冷源、双路35kV市电+柴油发电机30s启动；灾备：0.3μm烟雾探测器、预作用喷淋+烟烙尽（IG541）气体灭火；运行成本：PUE≤1.45；施工周期：土建封顶后10个月达到FAT，12个月达到量产。

第二章总体规划与平面分区

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