芯片制造与技术资料半导体第三讲-下-单晶硅生长技术.pdfVIP

单晶硅生长技术现状

2025/3/20

单晶硅简介

硅(Si)材料是信息技术、电子技术和光伏技术最重

要的基础材料。

从某种意义上讲,硅是影响国家未来在高新技术和

能源领域实力的战略资源。

作为一种功能材料,其性能应该是各向异性的,因

此半导体硅大都应该制备成硅单晶,并加工成抛光

片,方可制造IC器件,超过98%的电子元件都是使

用硅单晶

2025/3/20

单晶硅简介

单晶硅属于立方晶系，金刚石结构，是一种性能优良

的半导体材料。

自上世纪40年代起开始使用多晶硅至今，硅材料的生

长技术已趋于完善，并广泛的应用于红外光谱频率光

学元件、红外及射线探测器、集成电路、太阳能电池

等。

此外，硅没有毒性，且它的原材料石英(SiO2)构成了

大约60%的地壳成分，其原料供给可得到充分保障。

硅材料的优点及用途决定了它是目前最重要、产量最

大、发展最快、用途最