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- 2026-03-23 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN113540059B
(45)授权公告日2023.07.21
(21)申请号202110718925.X
(22)申请日2021.06.28
(65)同一申请的已公布的文献号
(51)Int.Cl.
H01L25/16(2023.01)
H01L23/488(2006.01)
H01L21/50(2006.01)
H10B80/00(2023.01)
(56)对比文件
CN106469717A,2017.03.01
CN1708840A,2005.12.14
CN107039337A,20
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