CN118497707B 半导体处理装置及其调节机构、调节方法 (研微(江苏)半导体科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-03-22 发布于重庆
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CN118497707B 半导体处理装置及其调节机构、调节方法 (研微(江苏)半导体科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN118497707B

(45)授权公告日2025.01.21

(21)申请号202311731394.3C23C16/458(2006.01)

C23C16/52(2006.01)

(22)申请日2023.12.14

(56)对比文件

(65)同一申请的已公布的文献号

申请公布号CN118497707ACN111235550A,2020.06.05

CN113774360A,2021.12.10

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