CN114014257B 一种硅基mems气体传感器芯片的制备方法及应用 (华中科技大学).docxVIP

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  • 2026-03-22 发布于山西
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CN114014257B 一种硅基mems气体传感器芯片的制备方法及应用 (华中科技大学).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114014257B

(45)授权公告日2025.07.01

(21)申请号202111240173.7

(22)申请日2021.10.25

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114014257A

(43)申请公布日2022.02.08

(73)专利权人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路

1037号

(72)发明人段国韬张征张彦林吕国梁

(74)专利代理机构华中科技大学专利中心42201

专利代理师祝丹晴

(51)Int.Cl.

B81B7/0

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