CN114512399B 干式蚀刻方法 (中央硝子株式会社).docxVIP

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  • 2026-03-23 发布于山西
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CN114512399B 干式蚀刻方法 (中央硝子株式会社).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114512399B

(45)授权公告日2025.06.24

(21)申请号202210020327.X

(22)申请日2016.07.01

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114512399A

(43)申请公布日2022.05.17

(30)优先权数据

2015-1595172015.08.12JP2015-1727212015.09.02JP

(62)分案原申请数据

201680044981.72016.07.01

(73)专利权人中央硝子株式会社地址日本山口

(72)发明人

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