CN111799167B 制造半导体装置的方法 (Asmip私人控股有限公司).docxVIP

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  • 2026-03-23 发布于山西
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CN111799167B 制造半导体装置的方法 (Asmip私人控股有限公司).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111799167B

(45)授权公告日2025.07.01

(21)申请号202010226436.8

(22)申请日2020.03.27

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111799167A

(43)申请公布日2020.10.20

(30)优先权数据

62/827,7132019.04.01US

(73)专利权人ASMIP私人控股有限公司地址荷兰阿尔梅勒

(72)发明人H.S.姜Y.K.闵W.G.林J.G.余J.O.柯Y.H.金

(74)专利代理机构北京市

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