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CN113136561B 沉积氮化硅层的方法、该方法形成的结构以及执行系统 （Asmip私人控股有限公司）.docxVIP

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  • 2026-03-23 发布于山西
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CN113136561B 沉积氮化硅层的方法、该方法形成的结构以及执行系统 （Asmip私人控股有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN113136561B

    (45)授权公告日2025.07.01

    (21)申请号202110034059.2

    (22)申请日2021.01.12

    (65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN113136561A

    (43)申请公布日2021.07.20

    (30)优先权数据

    62/963,4872020.01.20US

    (73)专利权人ASMIP私人控股有限公司地址荷兰阿尔梅勒

    (72)发明人奥雷利.黑田张令子德永正树黄凌志五十岚诚

    (74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105

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