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新建15万片6英寸MEMS用硅片生产及传感器配套项目可行性研究报告

第一章总论

项目背景

随着物联网、人工智能、5G通信及智能汽车等新兴技术的迅猛发展，MEMS（微机电系统）作为核心基础器件，其市场需求呈现爆发式增长态势。MEMS用硅片作为MEMS器件制造的关键基底材料，直接决定了器件的灵敏度、可靠性与使用寿命，是半导体产业链中不可或缺的核心环节。当前，中国MEMS硅片市场规模持续扩大，2024年已达到约98亿元人民币，预计到2030年将攀升至210亿元左右，年均复合增长率保持在14.3%。

但与此同时，国内MEMS用硅片产业面临着高端产品依赖进口、国产化率不足30%的现状，尤其是6英寸及