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2026年气体纯度控制与操作考核题集

一、单选题（每题2分，共20题）

题目：

1.在半导体制造过程中，若氮气纯度从99.999%下降至99.9%，可能导致以下哪种设备故障？（A）A.分子束外延机漏气

B.光刻机刻蚀不均

C.干法刻蚀腔体反应异常

D.等离子体刻蚀功率不稳定

2.燃料电池中，氢气中微量CO杂质的主要危害是？（B）A.降低电池温度

B.加剧催化剂中毒

C.提高电池电压

D.减少电池寿命

3.空分设备制氧过程中，分子筛吸附CO?的主要工作温度范围是？（C）A.0-50℃

B.100-200℃

C.-196-150℃

D.300-400℃

4.气相色谱法检测氩气纯度时，若载气氦气纯度不足，会导致？（A）A.峰形拖尾

B.保留时间缩短

C.检测器响应增强

D.柱效降低

5.高纯氖气用于激光器时，其纯度要求通常不低于？（C）A.99.5%

B.99.9%

C.99.999%

D.99.9999%

6.在食品包装工业中，氮气的主要作用是？（B）A.提供反应原料

B.防止氧化

C.作为制冷剂

D.增加包装重量

7.制备电子级氙气时，常用的脱附剂是？（A）A.活性炭

B.氧化铝

C.氢氧化钠

D.氮化硼

8.气体纯度分析中，红外吸收光谱法的主要优点是？（C）A.