CN119902038A 一种离子溅射栅网电极绝缘性能与材料特性的模拟评估装置和方法 (西安交通大学).pdfVIP

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  • 2026-03-23 发布于重庆
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CN119902038A 一种离子溅射栅网电极绝缘性能与材料特性的模拟评估装置和方法 (西安交通大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119902038A

(43)申请公布日2025.04.29

(21)申请号202510110004.3

(22)申请日2025.01.23

(71)申请人西安交通大学

地址710049

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