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- 2026-03-24 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN114864377B
(45)授权公告日2025.05.23
(21)申请号202110154408.4
(22)申请日2021.02.04
(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114864377A
(43)申请公布日2022.08.05
(73)专利权人中国科学院理化技术研究所
地址100190北京市海淀区中关村东路29
号
(72)发明人孟祥敏王一凡夏静李玄泽
(74)专利代理机构北京正理专利代理有限公司11257
专利代理师高东丽
(51)Int.Cl.
H01L
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