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MEMS：对消费类电子产生重大影响的技术

创造商正在不断完美手持式装置，提供体积更小而功能更多的产品。但冲突之处在于，随着技术的改进，价格往往也会浮现飙升，所以这就导致一个问题：创造商不得不面向互相冲突的要求——在让产品功能超群的同时降低其成本。

解决这一难题的办法之一是采纳微机械加工技术，更流行的说法是，它使得创造商能将一件产品的全部功能集成到单个芯片上。MEMS对消费产品的终极影响不仅包括成本的降低、而且也包括在不牺牲性能的状况下实现尺寸和分量的减小。实际上，大多数消费类电子产品所用MEMS元件的性能比已经浮现的同类技术大有提高。虽然MEMS过去只限于汽车、工业和医疗应用，但据调查公司估量：“MEMS消费类电子产品的销售额将在2005年前达到15亿美元”。

手持式设备创造商正在逐渐意识到MEMS的价值以及这种技术所带来的益处——大批量、低成本、小尺寸，而且开头转向胜利的MEMS公司，其所实现的成本减少幅度之大，将影响囫囵消费类电子世界，而不仅是高端装置。

图1人跑步/走路时的侧向z轴运动

跟上进展步子

正在日益流行的MEMS应用是步程计，它用于测量人行走时的速度或距离。将在z轴方向上的机械平移运动转换为电脉冲(图1)是MEMS器件的作用所在。这些脉冲馈入一个峰值检测器，该电路随后在每个脉冲作用下触发一次计