《阻焊制程激光直写式光刻设备》.docxVIP

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团体标准

T/ZZB3949—2025

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阻焊制程激光直写式光刻设备

Laserdirectwritinglithographyequipmentforsoldermaskprocess

2025-12-20发布2025-12-31实施

浙江省质量协会发布

I

T/ZZB3949—2025

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4基本要求 2

5结构与工作条件 2

6技术要求 3

7试验方法 6

8检验规则 9

9标识、标志、包装、运输和贮存、产品随机文件 10

10质量承诺 11

T/ZZB3949—2025

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阻焊制程激光直写式光刻设备

1范围

本文件规定了阻焊制程激光直写式光刻设备（以下简称“光刻设备”）的基本要求、结构与工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标识、标志、包装、运输和贮存、产品随机文件和质量承诺。

本文件适用于印制电路板及集成电路封装基板制造过程中，利用激光直写成像技术在基板上形成阻焊图形的光刻设备。

2规范性引用文件