CN114965054B 金刚石自支撑膜微观悬臂梁弯曲断裂力学性能的测试方法 (上海交通大学).docxVIP

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  • 2026-03-24 发布于山西
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CN114965054B 金刚石自支撑膜微观悬臂梁弯曲断裂力学性能的测试方法 (上海交通大学).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114965054B

(45)授权公告日2025.05.06

(21)申请号202210540933.4

(22)申请日2022.05.17

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114965054A

(43)申请公布日2022.08.30

(73)专利权人上海交通大学

地址200240上海市闵行区东川路800号

(72)发明人宋鑫孙方宏

(74)专利代理机构上海汉声知识产权代理有限公司31236

专利代理师胡晶

(51)Int.Cl.

G01N3/08(2006.01)

G0

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