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半导体真空取样阀技术研究

目录

内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

取样阀基础理论与技术指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.1半导体工艺对阀门性能的要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.2真空取样的基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

2.3取样阀的关键性能参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

2.4常见取Samplers．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

取样阀结构设计与材料选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.1高真空兼容性结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.2采用特殊工艺的流路设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.3长寿命与低污染材料运用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.4动静部件密封技术研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

3.5微型化与集成化设计探索．．．．．．．．．．．．．．．