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CN119517815B 真空腔室的上盖驱动装置的气动控制系统及其控制方法 （无锡邑文微电子科技股份有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-03-25 发布于重庆
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CN119517815B 真空腔室的上盖驱动装置的气动控制系统及其控制方法 （无锡邑文微电子科技股份有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利

    (10)授权公告号CN119517815B

    (45)授权公告日2025.04.15

    (21)申请号202510096484.2(51)Int.Cl.

    H01L21/67(2006.01)

    (22)申请日2025.01.22

    (56)对比文件

    (65)同一申请的已公布的文献号

    申请公布号CN119517815ACN101221904A,2008.07.16

    CN103758892A,2014.04.30

    (43)申请公布日202

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