原创力文档热灯丝宽波束离子源
KF/F40KF/I40
关键的设计特性
方便快速更换灯丝
电源外壳内部的紧凑阻抗匹配
内部和外部安装配置均可
功能陶瓷，方便快捷的维护
特殊的电网绝缘调节系统
优势
适用全惰性气体，还包括氮气
栅网系统有不同的形状和材料
维护方便快捷，工作周期长
尺寸/型号
技术规范
参数KF/F40
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