多旋翼无人机二次开发 多旋翼无人机二次开发(现代职业)1_知识准备4MEMS传感器.pdfVIP

第四章MEMS传感器

4.1、MEMS传感器的发展

4.1.KMEMS传感器的历史

图6.1MEMS传感器

MEMS(MicroelectroMechanicalSystems)即微机电系统，这个领域是以

半导体制造技术为基础发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。MEMS传感器是

采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，

它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高、适于批

量化生产、易于集成和实现智能化等特点。中国对MEMS的发展也非常关注，国

家在“十一五”期间投入大量资金从事该方向的研究，并自主开发了MEMS振动

传感器、MEMS声响传感器、MEMS红外传感器、光纤传感器、声阵列传感器，形

成了以MEMS传感器为主、复合多信息探测的小型化传感器系列。

图6.2传感器和火柴头比较

MEMS工艺的发展可以追溯到1954年，Smith在贝尔实验室发现了压阻效

应。随后，基于硅材料的微机械加工工艺和微机电系统（MEMS）引起了科研人

员的广泛注意并得到了迅速的发展。F