原创力文档中国科学院自主研制科学仪器2022
数理与天文科学
钨灯丝扫描电子显微镜
TungstenFilamentScanningElectron
SEM3000/SEM3000S/SEM3100
主要技术与性能指标
●电子枪：预对中型发叉式钨灯丝电子枪●分辨率：二次电子像≤3.0nm@30kV
●加速电压范围：1—30kV●放大倍数范围：1—300000
●具有多功能接口，可安装EDS\EBSD\CL\WDS等分析附件
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