SEMICONDUCTOR石英管PQ181E PQ181EH PQ181E-R PQ181EH-R 用户手册.pdf

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半导体级石英管

I.应用领域

半导体级石英管广泛应用于半导体级硅片氧化、扩散等

工艺中。

II.产品特性

半导体级石英管具备纯度高、低羟基、耐高温等特性。

III.产品类型

PQ181E、PQ181EH、PQ181E-R、PQ181EH-R

IV.产品规格

外径范围外径偏差壁厚偏差偏壁度椭圆度弯曲度

OD<100.00±1.00±10.00%15.00%1.00%0.10%

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