EBSD工作原理、试样制备、晶体学、EBSP标定及与EBSD相关的其他资料.pdfVIP

GB/T30703—20XX/ISO24173:2024

附录A

（资料性）

EBSD的工作原理

当电子束聚焦到某一倾斜的晶体试样表面时，由于非弹性散射（产生较小能量损失），将在试样内形

成电子发散源。这些电子入射到晶面上，且入射角满足布拉格方程(2dsinθ=nλ)时，便会发生衍射（θ为

入射电子束的入射角，d为晶面间距，λ为入射电子束的波长，n为整数），如图A.1所示，在原子晶格面上

发生电子背散射衍射后，将会呈现两个锥形衍射电子束。

对于一给定的加速电压（通常为20kV），布拉格衍射角约为1°。因此，衍射电子束锥形开口很大，几

乎平行于衍射面。这些电子束锥面与置于试样前的荧光屏交叉形成一对细线，被称为菊池线。它可以被用

来定义EBSD衍射带，即呈相同角度的菊池线对之间衍射面的迹线。在这种情况下产生的电子衍射花样通常

包含很多条菊池带，每条菊池带对应一组衍射面。根据布拉格方程，对于一个由电子束加速电压决定的给

定λ值，