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CN119943822A 一种超精细超高深宽比垂直互连结构的制备方法及其结构 （中国电子科技集团公司第五十八研究所）.pdfVIP

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  • 2026-03-27 发布于重庆
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CN119943822A 一种超精细超高深宽比垂直互连结构的制备方法及其结构 （中国电子科技集团公司第五十八研究所）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119943822A

    (43)申请公布日2025.05.06

    (21)申请号202510118094.0

    (22)申请日2025.01.24

    (71)申请人中国电子科技集团公司第五十八研

    究所

    地址214000江苏省无锡市滨湖区惠河路5

    号

    (72)发明人袁渊夏晨辉王刚于宗光

    (74)专利代理机构无锡派尔特知识产权代理事

    务所(普通合伙)32340

    专利代理师杨立秋

    (51)Int.Cl.

    H01L23/538(2006.01)

    H01L21/768(2006.01)

    权利要求书1页

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