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- 2026-03-28 发布于山西
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号CN115172196B
(45)授权公告日2025.05.20
(21)申请号202210724993.1
(22)申请日2022.06.24
(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN115172196A
(43)申请公布日2022.10.11
(73)专利权人西安电子科技大学
地址710071陕西省西安市太白南路2号
(72)发明人陈华杨济宁何亮张彦军汪显宇
(74)专利代理机构西安智大知识产权代理事务所61215
专利代理师段俊涛
(51)Int.Cl.
H01L21
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