CN115172196B 一种考虑库伦散射的MOSFETs栅氧化层陷阱随位置分布的表征方法 (西安电子科技大学).docxVIP

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  • 2026-03-28 发布于山西
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CN115172196B 一种考虑库伦散射的MOSFETs栅氧化层陷阱随位置分布的表征方法 (西安电子科技大学).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN115172196B

(45)授权公告日2025.05.20

(21)申请号202210724993.1

(22)申请日2022.06.24

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN115172196A

(43)申请公布日2022.10.11

(73)专利权人西安电子科技大学

地址710071陕西省西安市太白南路2号

(72)发明人陈华杨济宁何亮张彦军汪显宇

(74)专利代理机构西安智大知识产权代理事务所61215

专利代理师段俊涛

(51)Int.Cl.

H01L21

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