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真空技术与设备应用手册（执行版）

第1章真空技术基础

1.1真空概念与分类

真空是指系统内气体分子的密度低于大气压的物理状态，通常以绝对压力（Pa）或相对压力（kPa）来表示。真空可分为几个主要类型：绝对真空：系统内气体分子密度为零，仅由真空泵维持，通常用于高精度实验或极端环境。

极限真空：气体分子密度极低，通常在10??至10??Pa之间，适用于高纯度气体处理或半导体制造。工作真空：气体分子密度在10?3至10??Pa之间，广泛用于工业设备如真空泵、真空阀等。大气真空：气体分子密度接近大气压，通常在10?Pa左右，用于普通工业应用。

机械真空：通过机械抽气装置（如罗茨泵、旋片泵）实现，适用于中等真空度。气动真空：利用气体流动实现抽气，适用于高真空度且需无油环境的场合。离子真空：通过电离作用去除气体分子，适用于高纯度气体或高真空要求的设备。

（1）机械真空泵的典型工作原理是通过旋转叶轮产生负压，将气体吸入并排出。常见类型包括罗茨泵（容积式）、旋片泵（旋转式）和水环泵（液体驱动）。

（2）气动真空泵利用气体流动形成负压，常用于高真空度场合，但需注意气体泄漏问题。

1.2真空设备原理与结构

真空设备的核心功能是通过抽气、密封和控制来维持系统内气体分子密度符合要求。真空泵是真空设备的关键部分，其结构通常包括吸气端、压气端、排气端和密封端。