CN119860727A 一种用于硅抛光片平整度的检测方法及检测装置 (河南科技大学).pdfVIP

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  • 2026-03-29 发布于重庆
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CN119860727A 一种用于硅抛光片平整度的检测方法及检测装置 (河南科技大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119860727A

(43)申请公布日2025.04.22

(21)申请号202510122003.0

(22)申请日2025.01.26

(71)申请人河南科技大学

地址471000河南省洛阳市涧西区西苑路

48号

(72)发明人王丹丹吴鹏鹍李晓川张毅

郑旭东王鑫鑫吕珍龙周锋子

胡博通王旭李志鹏宋香君

(74)专利代理机构洛阳公信知识产权事务所

(普通合伙)41120

专利代理师毛若鹏

(51)Int.Cl.

G01B11/30(2006.01)

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