CN120041922A 半导体外延生长的温控方法、系统、设备和存储介质 (杭州超材智能科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-03-29 发布于重庆
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CN120041922A 半导体外延生长的温控方法、系统、设备和存储介质 (杭州超材智能科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120041922A

(43)申请公布日2025.05.27

(21)申请号202510125317.6

(22)申请日2025.01.26

(71)申请人杭州超材智能科技有限公司

地址311106浙江省杭州市临平区塘栖镇

美丽致大厦5幢1108室

(72)发明人陈超钱飞扬

(74)专利代理机构杭州华进联浙知识产权代理

有限公司33250

专利代理师何晓春

(51)Int.Cl.

C30B25/02(2006.01)

C30B25/16(2006.01)

C30B29/06(2006.01)

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