SOI波导中超快非线性光学效应:原理、特性与前沿应用
一、引言
1.1研究背景与意义
随着信息技术的飞速发展,对数据传输和处理速度的要求不断提高,光电集成技术应运而生,成为当今信息领域的研究热点之一。在众多的光电集成平台中,绝缘体上硅(Silicon-On-Insulator,SOI)波导凭借其独特的优势,占据了至关重要的地位。
SOI材料由顶层硅、中间的二氧化硅埋层和底层硅衬底组成。这种结构使得SOI波导具有与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺良好的兼容性,能够充分利用成熟的硅基半导体制造技术,实现大规模、低成本的生产,这为其在集成电路中的应用提供了广阔的前景。例如,在芯
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