原创力文档石英晶体传感器和馈入件
UHV可烘烤传感器
INFICONUHV可烘烤传感器不仅具有久经考验的可靠性
和耐用性，在热稳定性方面，市面上的任何其他传感头
也无法与之相媲美。UHV可烘烤传感器由304不锈钢、
钼、Inconel、镍和氧化铝材料制成，其设计可承受高达
450摄氏度的连续烘烤温度(仅用于烘烤，实际沉积监测
需要水流量)。前载式设计允许在没有足够的空间进行侧
向插入的应用中轻松插入晶片座。
传感器配置
UHV可烘烤传感器提供标准安装配置，其中，水管平行
于晶面。可选择订购带气动晶片挡板的传感器，以在源
预热期间或在其他材料沉积期间不使用时为晶片提供保
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