石英棒PQ191E PQ191EH说明书用户手册.pdf

半导体级石英棒

I.应用领域

半导体级石英棒作为石英部件的基础材料,

应用于半导体晶圆制程工艺中。

II.产品特性

半导体级石英棒具备纯度高、低羟基、耐高温等特性。

III.产品类型

PQ191E、PQ191EH

IV.产品规格

外径范围外径偏差椭圆度弯曲度

OD<10.00±2.00%2.00%0.15%

10.00≤OD

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